Henry Edin St. Clair DeVille ak Friedrich Wöhler premye rapòte sentèz la nan Silisyòm nitrid nan 1857. Nan metòd la sentèz yo rapòte, yo te yon crucible ki gen Silisyòm antere l 'nan yon épreuves plen ak kabòn ak chofe diminye enfiltrasyon nan oksijèn. Yo rapòte yon pwodwi yo te rele Silisyòm nitrid, men yo echwe pou pou kalkile konpozisyon chimik li yo. Nan 1879, Pòl Schuetzenberger melanje Silisyòm ak pawa (yon keratin ki ka itilize kòm yon pawa kreze, jwenn nan melanje chabon, chabon oswa coke ak ajil) ak chofe li nan yon gwo founo dife eksplozyon, ak rapòte li kòm yon konpoze ak konpozisyon an nan Si3N4. Nan 1910, Ludwig Weiss ak Theodor Engelhardt chofe Silisyòm nan azòt pi bon pou jwenn Si3N4. Nan 1925, Friederich ak Sittig itilize rediksyon carbothermal nan chalè Silisyòm gaz ak kabòn nan 1250-1300 degre nan yon atmosfè nitwojèn sentèz Silisyòm nitrid.
Silisyòm nitrid pa te pran seryezman ak etidye pou dè dekad jouk aplikasyon komèsyal nan Silisyòm nitrid parèt. Soti nan 1948 a 1952, konpayi dyaman Acheson a tou pre Niagara Falls, New York, anrejistre plizyè rive pou fabrike a ak itilizasyon Silisyòm nitrid. An 1958, yo te itilize Silisyòm nitrid ki te pwodwi pa Union Carbide itilize fè tib tèrmokouple, bouch fize, ak crucibles pou metal k ap fonn. Rechèch sou Silisyòm nitrid nan UK a te kòmanse nan 1953 ak objektif la nan fè pati segondè-tanperati pou turbines gaz. Sa a te mennen nan devlopman nan nitrid Silisyòm estokaj ak cho-bourade Silisyòm nitrid. An 1971, defans avanse pwojè rechèch ajans lan anba Depatman Defans Etazini an te siyen yon kontra $ 17 milyon avèk Ford ak Westinghouse pou devlope de turbines gaz seramik.
Malgre ke pwopriyete yo nan Silisyòm nitrid gen lontan yo te li te ye, Silisyòm nitrid (apeprè 2 × 5µm nan gwosè) ki egziste natirèlman sou latè pa te dekouvri jouk ane 1990 yo nan meteyorit yo. Sa a ki kalite Silisyòm nitrid minrè yo te jwenn nan lanati yo te rele "Nierite" nan onè nan Alfred Otto Carl Nier, yon pyonye nan rechèch spectrometry mas. Sepandan, gen prèv ki montre sa a ki kalite Silisyòm nitrid minrè ka yo te jwenn nan meteyorit nan Azerbaydjan, ansyen Inyon Sovyetik la, pi bonè. Météorites ki gen Silisyòm nitrid mineral yo te tou yo te jwenn nan pwovens Guizhou, Lachin. Anplis de sa ki deja egziste nan meteyorit sou latè, Silisyòm nitrid tou distribye nan pousyè cosmic nan espas eksteryè.
